文档名:基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计
摘要:针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题,提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法.按0~20mm的量程范围要求,对敏感芯体进行合理优化后,所制备的敏感芯体测量精度可在±1%FS之内与仿真结果相符合.该制备方法在提升耐高温性能的同时可保证测量精度,具有一定的实际应用前景.
作者:徐冬 杨思远 咸婉婷 张宁 李程达Author:XUDong YANGSiyuan XIANWanting ZHANGNing LIChengda
作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028
刊名:传感器与微系统 ISTICPKU
Journal:TransducerandMicrosystemTechnologies
年,卷(期):2023, 42(3)
分类号:TP212
关键词:高温共烧陶瓷 线性可变差动变压器 位移传感器 敏感芯体
机标分类号:TP212TU311TM245.1
在线出版日期:2023年3月27日
基金项目:基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(3)徐冬 杨思远 咸婉婷 张宁 李程达针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题,提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法.按0~20mm的量程范围要求,对敏感芯体进行合理优...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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