文档名：基于MOS的CO气体传感器研究进展
摘要：实现对一氧化碳(CO)气体的现场快速监测对公众的健康有重要意义.与传统CO检测方法相比,基于金属氧化物半导体(MOS)的气体传感器具有制作方法简单、操作方便、传感性能优越和可实时监测等优点,被广泛地应用于有毒有害气体的检测.本文介绍了基于MOS材料的CO气体传感器件的传感机理及其研究现状,结合国内外的研究进展,综述了基于MOS的CO传感器传感性能的改善方法,并展望了MOS基CO气体传感器的发展方向.
Abstract：Itisofgreatsignificanceforpublichealthtofastandin-situmonitoringonCOgas.ComparedwithtraditionalCOdetectionmethods,metal-oxide-semiconductor(MOS)-basedgassensorsarewidelyusedindetectionoftoxicandharmfulgases,duetoitsadvantagesofsimpleproductionmethod,easyoperation,superiorsensingperformance,andcanachievereal-timemonitoring.SensingmechanismandresearchstatusofCOgassensordevicesbasedonMOSmaterialsareintroduced.Combinedwiththeresearchprogressathomeandabroad,themethodsforimprovingthesensingperformanceofMOS-basedCOsensorsarereviewed,andthedevelopmentdirectionofMOS-basedCOgassensorsisprospected.
作者：马祥云 王素华Author：MAXiangyun WANGSuhua
作者单位：华北电力大学环境科学与工程学院,北京102206
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(3)
分类号：TP212
关键词：一氧化碳气体传感器 金属氧化物半导体 气敏性能 氧化石墨烯
Keywords：COgassensor metal-oxide-semiconductor(MOS) gassensitiveperformance grapheneoxide(GO)
机标分类号：TP212.2TN386.1TB383
在线出版日期：2024年3月29日
基金项目：国家自然科学基金，广东省石油化工污染过程与控制重点实验室开放基金资助项目基于MOS的CO气体传感器研究进展[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(3)马祥云 王素华实现对一氧化碳(CO)气体的现场快速监测对公众的健康有重要意义.与传统CO检测方法相比,基于金属氧化物半导体(MOS)的气体传感器具有制作方法简单、操作方便、传感性能优越和可实时监测等优点,被广泛地应用于有毒有害气体的...参考文献和引证文献
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