文档名：基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制
摘要：针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法.利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解.针对控制器参数较多,极点配置不够准确等问题,利用飞蛾扑火算法对RPPF控制器进行参数配置.实验结果表明,与正位置反馈控制器(PPF)相比,递归正位置反馈控制器(RPPF)将三阶压电纳米定位台的闭环带宽从531Hz提升到663Hz,且50Hz三角跟踪的最大绝对误差和均方根误差分别降低了30.12％和26.47％,具有更好的跟踪速度和精度.
作者：吴智仁 许素安 富雅琼 武泽宇Author：WUZhiren XUSu'an FUYaqiong WUZeyu
作者单位：中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(5)
分类号：TP273.3
关键词：压电纳米定位台 低阻尼谐振模态抑制 极点配置法 递归结构 主动阻尼控制器
机标分类号：TM464TM712TP212.12
在线出版日期：2023年7月18日
基金项目：国家自然科学基金基于递归正位置反馈的三阶压电纳米定位台谐振控制[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(5)吴智仁 许素安 富雅琼 武泽宇针对压电纳米定位台的低阻尼谐振振动,设计了一种基于递归结构的正位置反馈控制器(RPPF)的闭环控制方法.利用激励信号输入平台进行系统辨识并使用零极点对消方法简化三阶系统,对闭环特征方程使用费拉里法求解.针对控制器...参考文献和引证文献
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