文档名：基于微机电系统MEMS的磁通门传感器研究进展
摘要：磁通门传感器是由电磁感应效应衍生出来的一类主动式感应变压器,能够感应到外界微弱的直流或低频磁场,因为它在噪声、温度稳定性、磁场分辨率和灵敏度方面的优势,被广泛应用在了定位跟踪、航空航天、地磁探测和电流检测等领域.但现在,各类设备都朝着小型化发展,对磁通门质量、体积、功耗、集成度有了更高的要求,所以磁通门传感器的微型化研究十分必要.微机电(Micro-electro-mechanicalSystem,MEMS)加工为此提供了技术基础.简要分析了磁通门传感器的基本原理,阐述了微型磁通门传感器工艺技术的发展历史,包括微加工技术、PCB技术和MEMS技术.重点总结了MEMS磁通门结构工艺的发展历程以及MEMS正交磁通门发展状况.介绍了MEMS磁通门在相应场合的应用优势与发展状况,并展望了此领域未来的研究重点.
作者：许薇 邹旭东 张志红 彭根斋 陈嘉民 Author：XUWei ZOUXu-dong ZHANGZhi-hong PENGGen-zhai CHENJia-min
作者单位：中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室,北京100094;中国科学技术大学微电子学院,安徽合肥230026西南应用磁学研究所,四川绵阳621000
刊名：磁性材料及器件 ISTICPKU
Journal：JournalofMagneticMaterialsandDevices
年，卷(期)：2023, 54(2)
分类号：TH-39TP212
关键词：磁通门传感器 MEMS 磁测量 应用
机标分类号：TP212TN405TH16
在线出版日期：2023年5月5日
基金项目：国家重点研发计划，国家自然科学基金，北京市自然科学基金面上项目，国防基础科研计划，中国科学院率先行动“百人计划”，中国科学技术协会青年人才托举工程项目基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展[
期刊论文] 磁性材料及器件--2023, 54(2)许薇 邹旭东 张志红 彭根斋 陈嘉民磁通门传感器是由电磁感应效应衍生出来的一类主动式感应变压器,能够感应到外界微弱的直流或低频磁场,因为它在噪声、温度稳定性、磁场分辨率和灵敏度方面的优势,被广泛应用在了定位跟踪、航空航天、地磁探测和电流检测等领...参考文献和引证文献
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