文档名：基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
摘要：提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76Hz.另外,为了提升其线性工作范围,采用电磁驱动的方式进行闭环控制.采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力,以达到闭环反馈控制,理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83gn提升至4.32gn,提升近5倍左右.
作者：徐浩东 金丽 吴倩楠 王兵权 彭海峰 李孟委Author：XUHaodong JINLi WUQiannan WANGBingquan PENGHaifeng LIMengwei
作者单位：中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051;中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学仪器与智能省级未来技术学院,山西太原030051
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(12)
分类号：TP212
关键词：泰伯效应 加速度计 光栅 闭环控制
Keywords：Talboteffect accelerometer grating closed-loopcontrol
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月3日
基金项目：国家自然科学基金基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(12)徐浩东 金丽 吴倩楠 王兵权 彭海峰 李孟委提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76H...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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