文档名：激光跟踪仪几何结构误差标定及修正
摘要：为了提高激光跟踪仪坐标测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,研究了横竖轴平移误差、横竖轴倾斜误差、激光平移误差和激光倾斜误差的标定和修正方法.利用几何分析法建立了几何结构误差模型,基于投影图像测量仪和检棒、PSD搭建了几何误差参数的标定装置,实现对几何误差的快速自动高精度标定及补偿.最后,利用误差标定实验测量出的几何误差代入误差补偿模型,与标尺的长度进行比对分析.实验结果表明:经几何误差修正后的跟踪仪坐标测量误差从13μm/m减小到4μm/m以内,测量精度约提升了9μm/m,验证了几何误差标定和修正方法的正确性,该方法可以提高激光跟踪仪的坐标测量精度.
Abstract：Toenhancethecoordinatemeasurementaccuracyoflasertrackers,weanalyzedthegeometricerrorsofthedeviceandstudiedcalibrationandcorrectionmethodsfortransitoffseterror,transittilterror,laseroffseterror,andlasertilterror.First,geometricerrormodelswereestablishedusinggeometricanaly-sismethods.Acalibrationdeviceforgeometricerrorparameterswasconstructedbasedonatelecentricmeasurementsystem,testrodsandaPSDdevice.Thissetupallowsforrapid,automatichigh-precisioncalibrationandcompensationofgeometricerrors.Subsequently,thegeometricerrorsmeasuredbythecali-brationexperimentwereincorporatedintotheerrorcompensationmodels,andthescalebarlengthmea-suredbythelasertrackerwascomparedwithitsstandardlength.Experimentalresultsindicatethataftergeometricerrorcorrection,thecoordinatemeasurementerrorofthelasertrackercanbereducedfrom13μm/mtolessthan4μm/m,improvingmeasurementaccuracybyapproximately9μm/m.Thesefindingsconfirmthevalidityofthegeometricerrorcalibrationandcorrectionmethods,demonstratingthatcoordi-natemeasurementaccuracyoflasertrackerscanbesignificantlyenhancedusingthesemethods.
作者：王珊 张滋黎 董登峰 周维虎 纪荣祎 潘映伶 王国名 崔成君 Author：WANGShan ZHANGZili DONGDengfeng ZHOUWeihu JIRongyi PANYingling WANGGuoming CUIChengjun
作者单位：中国科学院微电子研究所,北京100029;中国科学院大学,北京100049中国科学院微电子研究所,北京100029
刊名：光学精密工程 ISTICEIPKU
Journal：OpticsandPrecisionEngineering
年，卷(期)：2024, 32(11)
分类号：TP394.1TH691.9
关键词：激光跟踪仪 几何结构误差 误差标定 误差修正 最小二乘法
Keywords：lasertracker geometricerrors errorcalibration errorcorrection leastsquaremethod
机标分类号：TH161TG659P231.2
在线出版日期：2024年7月24日
基金项目：工业和信息化部高质量专项激光跟踪仪几何结构误差标定及修正[
期刊论文] 光学精密工程--2024, 32(11)王珊 张滋黎 董登峰 周维虎 纪荣祎 潘映伶 王国名 崔成君为了提高激光跟踪仪坐标测量精度,分析了跟踪仪的几何结构误差,研究了横竖轴平移误差、横竖轴倾斜误差、激光平移误差和激光倾斜误差的标定和修正方法.利用几何分析法建立了几何结构误差模型,基于投影图像测量仪和检棒、PS...参考文献和引证文献
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