文档名：金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展
摘要：随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanicalsystems,MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metaloxidesemiconductor,MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展.MEMS微热板的多样化设计、MOSs纳米结构的多样化以及机器学习算法的出现为MEMS的传感性能以及智能传感系统的构建提供了很大助力.本文从MEMS气体传感器的分类、制备和应用以及传感器阵列的构建等方面综述了金属氧化物半导体MEMS气体传感器的最新研究进展,并对MEMS基气体传感器的发展前景进行了总结和展望.
Abstract：WiththerapiddevelopmentoftheInternetofthings,thereisanincreasingdemandformonitoringvolatileorganicchemicalsinvariousfields.Metal-oxidesemiconductor(MOS)gassensorsbasedonadvancedmicro-electro-mechanicalsystems(MEMS)technologyhavesignifi-cantlydevelopedinthepastfewdecades.Thediversedesignofmicrohotplates,thediversificationofMOSnanostructures,andtheemergenceofmachinelearningalgorithmshavepromotedthesensingperformanceofMEMSsensorsandtheirintelligentsensingsystems.Thispaperwillsummarizethelatestadvancesintheclassification,preparation,andapplicationofMEMSgassensorsandthesensorarray.Finally,thedeve-lopmentprospectofMEMS-basedgassensorsissummarized.
作者：尹嘉琦 沈文锋 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰 Author：YINJiaqi SHENWenfeng LYUDawu ZHAOJinglong HUPengfei SONGWeijie
作者单位：上海大学材料科学与工程学院,上海200444;中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201;中国科学院大学材料科学与光电子工程中心,北京100049中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201;江西理工大学材料冶金化学学部,江西赣州341000上海大学材料科学与工程学院,上海200444
刊名：材料导报
Journal：MaterialsReports
年，卷(期)：2024, 38(1)
分类号：O659.31
关键词：气体传感器 金属氧化物半导体 微机电系统 传感器阵列 智能传感系统
Keywords：gassensors metal-oxidesemiconductor micro-electro-mechanicalsystem sensorarray intelligentsensingsystem
机标分类号：TN929.53TN86TN701-4
在线出版日期：2024年3月19日
基金项目：金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展[
期刊论文] 材料导报--2024, 38(1)尹嘉琦 沈文锋 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanicalsystems,MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metaloxidesemiconductor,MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展....参考文献和引证文献
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