文档名：双层反倾线圈结构的直线时栅位移传感器研究
摘要：针对前期研究的双层直线时栅位移传感器测量误差成分中四次谐波较大,影响传感器测量精度的问题.根据双层激励线圈的结构特点,提出了一种双层反向倾斜线圈结构的直线时栅位移传感器设计方案.通过构建双层反倾线圈产生磁场的数学模型,分析了双层反向倾斜线圈的磁场状态,并利用电磁场有限元仿真分析双层反倾线圈直线时栅位移传感器中倾斜大小和动定尺之间的气隙对测量误差与误差谐波成分的影响,确定了最优化的设计参数.采用PCB(PrintedCircuitBoard)工艺研制了78个节距大小的传感器样机并进行了精度测试.实验结果表明,双层反倾斜线圈结构对原双层直线传感器中误差四次谐波抑制效果显著,在同样设置条件下,将原测量误差成分中四次谐波从40μm抑制到7μm,抑制效果达到82.5％.最终经过误差修正后的传感器对极内精度达到±13μm.
作者：杨继森 秦梓洋 付航 吴灼Author：YANGJisen QINZiyang FUHang WUZhuo
作者单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心,重庆400054;重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,重庆400054
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(2)
分类号：TP712
关键词：精密位移测量 直线时栅传感器 倾斜线圈 磁场 四次谐波误差
机标分类号：TP202TM351TM572.2
在线出版日期：2023年4月23日
基金项目：国家自然科学基金，国家自然科学基金，重庆市高等学校优秀人才支持计划项目，重庆理工大学研究生创新项目双层反倾线圈结构的直线时栅位移传感器研究[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(2)杨继森 秦梓洋 付航 吴灼针对前期研究的双层直线时栅位移传感器测量误差成分中四次谐波较大,影响传感器测量精度的问题.根据双层激励线圈的结构特点,提出了一种双层反向倾斜线圈结构的直线时栅位移传感器设计方案.通过构建双层反倾线圈产生磁场...参考文献和引证文献
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