文档名：一种混合气体与温度同时检测的传感器阵列
摘要：针对主要烟气污染物气体一氧化氮NO/二氧化硫SO2监测存在的温漂大、温度补偿系统体积大、成本高的问题,采用MEMS工艺,研制了一种三电极碳纳米管传感器阵列.该阵列由三个不同极间距的传感器构成,分别检测NO、SO2浓度及温度.研究了极间距、气体浓度和温度对传感器的影响,分析了传感器对气体浓度和温度的敏感机理.三个传感器在不同的气体浓度、不同的温度下,具有不同的单值敏感特性.传感器重复性好、灵敏度高;阵列可以不分离混合气体,直接检测NO、SO2成分及温度,具有温度补偿的功能,能够用于解决烟气污染物检测在工作温度变化时存在的误报问题.
作者：程珍珍 张勇 何国锋 Author：CHENGZhenzhen ZHANGYong HEGuofeng
作者单位：河南城建学院电气与控制工程学院,河南平顶山467000西安交通大学电气工程学院,陕西西安710049
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(3)
分类号：TH832
关键词：仪器科学与技术 混合气体检测 碳纳米管 传感器阵列 温度补偿
机标分类号：O657.1TS207.3TP212.2
在线出版日期：2023年5月25日
基金项目：国家自然科学基金，河南省自然科学基金面上项目一种混合气体与温度同时检测的传感器阵列[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(3)程珍珍 张勇 何国锋针对主要烟气污染物气体一氧化氮NO/二氧化硫SO2监测存在的温漂大、温度补偿系统体积大、成本高的问题,采用MEMS工艺,研制了一种三电极碳纳米管传感器阵列.该阵列由三个不同极间距的传感器构成,分别检测NO、SO2浓度及温度....参考文献和引证文献
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