文档名：长条形阵列铁芯磁通门性能研究
摘要：为了提高微型磁通门传感器的性能,改进铁芯结构,基于MEMS工艺制作了35组不同结构的长条形阵列铁芯.利用双铁芯线圈结构磁通门对制作的35组长条形阵列铁芯进行了磁通门性能指标的测试,分析了长条形阵列铁芯排列密度以及单条铁芯宽度对磁通门最佳激励电流、线性范围、灵敏度以及噪声的影响规律.研究结果表明,当单条铁芯相邻宽度为35μm以及单条铁芯宽度为60μm时,长条形阵列铁芯的磁通门综合性能指标优于传统薄膜铁芯的磁通门性能.
作者：崔智军 刘琛 Author：CUIZhijun LIUChen
作者单位：安康学院电子与信息工程学院,陕西安康725000;西北工业大学电子信息学院,陕西西安710129西北工业大学电子信息学院,陕西西安710129
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(11)
分类号：TM212.1
关键词：磁通门 长条形阵列铁芯 MEMS 性能指标
Keywords：fluxgatesensor stripedarrayironcore MEMS performanceindex
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月17日
基金项目：陕西省自然科学基础研究计划项目，安康市科学技术研究发展计划项目长条形阵列铁芯磁通门性能研究[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(11)崔智军 刘琛为了提高微型磁通门传感器的性能,改进铁芯结构,基于MEMS工艺制作了35组不同结构的长条形阵列铁芯.利用双铁芯线圈结构磁通门对制作的35组长条形阵列铁芯进行了磁通门性能指标的测试,分析了长条形阵列铁芯排列密度以及单...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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