文档名：压敏结构对柔性传感器性能增强的仿真分析
摘要：在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确.为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯基柔性传感器压敏结构的作用机制,揭示了压敏结构对传感器形变、电阻变化的影响.结果显示,方柱和圆柱压敏结构的传感器形变程度小,但电阻和应力变化区域大,而金字塔和半圆球压敏结构的传感器形变程度较大,但电阻和应力变化区域较小.
Abstract：Introducingpressure-sensitivestructureintothepiezoresistivelayerisaneffectivemethodtoimprovethesensitivityofpiezoresistivesensor,butthedeformationofpressure-sensitivestructureisdifficulttoobservedirectlyinpracticalexperiments,sothemechanismofmicrostructuredeformationandresistancechangeisnotclear.Therefore,thefiniteelementsimulationanalysissoftwareisusedtosimulatetheactionmechanismofdifferentloadsizesandsensitivestructureonthepressure-sensitivestructureofgraphene-basedflexiblesensor,andrevealtheinfluenceofthepressure-sensitivestructureonthedeformationandresistancechangeofthesensor.Theresultsshowthatthesensorwithsquarecolumnandcylindricalpressure-sensitivestructurehassmalldeformationdegree,butthechangeareaofresistanceandstressislarge,whilethesensorwithpyramidandsemi-circularballpressure-sensitivestructurehaslargedeformationdegree,butthechangeareaofresistanceandstressissmall.
作者：魏国 廖宁波 章城Author：WEIGuo LIAONingbo ZHANGCheng
作者单位：温州大学机电工程学院,浙江温州325035;浙江省激光加工机器人重点实验室激光加工机器人示范型国际科技合作基地,浙江温州325035
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(3)
分类号：TP212
关键词：柔性 压阻传感器 压敏结构 有限元分析
Keywords：flexibility piezoresistivesensor pressuresensitivestructure finiteelementanalysis
机标分类号：TP391.72TP212TB383
在线出版日期：2024年3月29日
基金项目：浙江省自然科学基金资助项目，温州市基础性工业科技项目压敏结构对柔性传感器性能增强的仿真分析[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(3)魏国 廖宁波 章城在压阻层引入压敏结构是提高压阻传感器灵敏度的有效方法,但是压敏结构的形变在实际实验中难以直接观察,使得微结构的形变、电阻变化等机制尚不明确.为此,采用有限元仿真分析软件,模拟不同载荷大小和不同敏感结构对石墨烯...参考文献和引证文献
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