文档名：亚毫米分辨率的触觉传感单元设计与仿真
摘要：基于柔性材料的微型压力传感器对机器人手指的触觉建立是近年来的热门研究领域.为克服传统微型电容式压力传感器灵敏度低和线性度差等问题,提出了一种基于聚酰亚胺(PI)材料构建的电容式触觉单元.利用平面极板与倒凸形空腔相结合的结构,使响应具有2段连续的高线性区间,其空间分辨率达到亚毫米级.有限元分析结果表明:在0～15kPa和15～120kPa范围内触觉单元灵敏度高达4.17fF/kPa和0.28fF/kPa,同时具有良好的应力分布和频率带宽.研究了其在不同人工表皮厚度环境下的性能,并给出了器件工艺流程.本文方案的提出为人工指尖的触觉感知提供了一种新的实现方式.
作者：杨俊 戚昊琛Author：YANGJun QIHaochen
作者单位：合肥工业大学微电子学院,安徽合肥230009
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(3)
分类号：TP212
关键词：触觉传感器 亚毫米 聚酰亚胺 电容式 高线性 有限元分析
机标分类号：TP212TP391.9TH122
在线出版日期：2023年3月27日
基金项目：国家自然科学基金，合肥工业大学青年教师科研创新启动专项项目亚毫米分辨率的触觉传感单元设计与仿真[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(3)杨俊 戚昊琛基于柔性材料的微型压力传感器对机器人手指的触觉建立是近年来的热门研究领域.为克服传统微型电容式压力传感器灵敏度低和线性度差等问题,提出了一种基于聚酰亚胺(PI)材料构建的电容式触觉单元.利用平面极板与倒凸形空...参考文献和引证文献
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