文档名：液相外延法制备的掺杂石榴石单晶薄膜
摘要：以高纯氧化物为原材料,采用液相外延法(LPE)制备直径3英寸、厚度20μm以上的掺杂钇铁石榴石(YIG)单晶薄膜,通过离子掺杂对薄膜的饱和磁化强度进行调控,范围为800～1750G.X射线衍射分析表明薄膜仅有单一衍射峰,且半高宽值约为0.007°.磁性能测试结果表明,制备的薄膜饱和磁化强度可宽幅调控,且呈现明显的平面磁各向异性.同时对薄膜的截面及表面形貌进行观测,发现薄膜与衬底间界面清晰,薄膜表面粗糙度小于1nm,离子掺杂均匀,为后续的器件应用打下良好的基础.
作者：李阳 李俊 陈运茂 魏占涛 刘庆元 帅世荣 蓝江河Author：LIYang LIJun CHENYun-mao WEIZhan-tao LIUQing-yuan SHUAIShi-rong LANJiang-he
作者单位：中国电子科技集团公司第九研究所,四川绵阳621000
刊名：磁性材料及器件
Journal：JournalofMagneticMaterialsandDevices
年，卷(期)：2023, 54(3)
分类号：TM277
关键词：石榴石单晶薄膜 液相外延 离子掺杂 饱和磁化强度
机标分类号：TM277TB383O482.5
在线出版日期：2023年6月28日
基金项目：液相外延法制备的掺杂石榴石单晶薄膜[
期刊论文] 磁性材料及器件--2023, 54(3)李阳 李俊 陈运茂 魏占涛 刘庆元 帅世荣 蓝江河以高纯氧化物为原材料,采用液相外延法(LPE)制备直径3英寸、厚度20μm以上的掺杂钇铁石榴石(YIG)单晶薄膜,通过离子掺杂对薄膜的饱和磁化强度进行调控,范围为800～1750G.X射线衍射分析表明薄膜仅有单一衍射峰,且半高宽值...参考文献和引证文献
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