真空镀类金刚石膜在高档装饰领域应用的基础研究

文档名：真空镀类金刚石膜在高档装饰领域应用的基础研究
为了提高装饰性硬质膜的综合性能,达到良好的装饰性和使用效果,本文对镀膜过程中偏压对膜发蒙现象和膜厚分布以及Cu掺杂对类金刚石膜(a-C:Cu)性能影响进行了系列研究.研究结果表明,随着偏压增加,试样边缘发蒙现象越严重,而且试样边缘薄膜越薄甚至损伤基体.随着Cu掺杂量增加,a-C:Cu膜表面粗糙度逐渐增加,硬度降低,弹性模量先增加后降低.其中当Cu含量为5.45at.％时,a-C:Cu膜具有最好的综合性能.
作者：梁斐珂 曾宪光 孙德恩
作者单位：重庆大学材料科学与工程学院,重庆400044四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室,四川自贡643000
母体文献：第五届环渤海表面精饰发展论坛论文集
会议名称：第五届环渤海表面精饰发展论坛  
会议时间：2018年5月18日
会议地点：青岛
主办单位：环渤海表面精饰发展论坛联盟
语种：chi
分类号：TG1TB4
关键词：类金刚石膜  真空镀  铜掺杂量  装饰性
在线出版日期：2021年11月12日
基金项目：
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2024-12-11 23:22 上传 真空镀类金刚石膜在高档装饰领域应用的基础研究.pdf

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