用于紫外光学显微镜的二维纳米位移台的设计及实验验证

文档名：用于紫外光学显微镜的二维纳米位移台的设计及实验验证
针对紫外光学显微镜实现线宽测量的需要,设计了一种能够提供精密位移的大行程二维纳米位移台.分别采用柔性铰链和压电陶瓷驱动器作为导向机构和驱动机构,采用内外层串联嵌套结构实现二维独立位移运动.对平台进行力学建模,分析并计算得到二维工作刚度及集中应力公式.根据分析所得理论公式确定纳米位移台参数并进行有限元仿真.建立机械模型,根据机械模型设计并搭建激光干涉位移测量系统进行实验验证.实验数据分析结果表明,实验结果与理论设计基本一致,二维纳米位移台的设计满足要求.
作者：常旭 高思田 施玉书 黄鹭 李琪 李东升
作者单位：中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018中国计量科学研究院,北京100029
母体文献：2017全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2017全国几何量精密测量技术学术交流会  
会议时间：2017年9月1日
会议地点：甘肃酒泉
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：线宽测量  紫外光学显微镜  二维纳米位移台  柔性铰链  压电陶瓷驱动器
在线出版日期：2020年10月26日
基金项目：
相似文献
相关博文

2024-12-11 21:26 上传 用于紫外光学显微镜的二维纳米位移台的设计及实验验证.pdf

文件大小:

2.61 MB

下载次数:

60

高速下载