文档名：用于微光机械加速度计的耦合器设计
目前，在微电子和微机械装置的作用下，微光机械系统(MOEMS)传感技术在很多领域被研究应用，该系统以其体积小、成本低、可靠性高、智能化等特点深受国内外专家学者的青睐。在微光电子机械系统理论的基础上,设计了应用于光波导加速度系统的双Y分支1×4耦合器.对微光机械系统做了简要介绍,对所设计的系统耦合器进行了理论研究和计算,并对系统进行了结构优化,采用S型反正弦波导连接两平行直波导的弯曲波导.设计的耦合器长度为20.4mm,具有结构紧凑、损耗低、不易受外部温度影响等特点.
作者：李东王金海田磊尉春华
作者单位：天津工业大学电子与信息工程学院,天津300387
母体文献：2015中国(天津)机电装备创新设计与产业发展高峰论坛论文集
会议名称：2015中国(天津)机电装备创新设计与产业发展高峰论坛
会议时间：2015年11月1日
会议地点：天津
主办单位：天津市科学技术协会
语种：chi
分类号：
关键词：耦合器 结构设计 微光电子机械理论 光波导加速度系统
在线出版日期：2016年6月15日
基金项目：
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