文档名：一种正型聚酰亚胺光致抗蚀剂
以4,4'-二氨基二苯醚(ODA)与4,4'-联苯醚二酐(ODPA)共聚反应得到聚酰胺酸(PAA),再用甲醇在酸催化下进行酯化反应.可制得不同比例的一系列聚酰胺酸甲酯,它们可以与酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯一起组成正性的聚酰亚胺光致抗蚀剂,曝光成像后可以获得分辨率为5μm的图形.利用傅里叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)等表征了聚合物的结构和性能.
作者：严臣凤路世伟王力元
作者单位：北京师范大学化学学院,北京100875
母体文献：中国感光学会2017年学术年会暨第九届五次理事会论文集
会议名称：中国感光学会2017年学术年会暨第九届五次理事会
会议时间：2017年8月1日
会议地点：昆明
主办单位：中国感光学会
语种：chi
分类号：TQ3O63
关键词：光致抗蚀剂 聚酰胺酸酯 制备工艺 成像质量
在线出版日期：2020年10月26日
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