文档名：一种基于结构光条纹投影的微小物体测量系统
为了通过结构光投影的方法测量微小物体,构建了一套微小物体三维形貌测量系统,视场范围可达1.8cm×1.6cm.这套测量系统利用了LightCrafter4500数字投影组件的高速投影、立体显微镜的低畸变缩放、远心镜头的大景深与低畸变成像的特性.先利用立体显微镜对LightCrafter4500投影的相移条纹图进行低畸变缩小,再投影到待测物体表面,采用配有远心镜头的相机同步记录受到物体表面形貌调制而发生形变的条纹,利用三步相移法计算出条纹对应的截断相位图,再根据可靠路径跟踪相位展开算法求取连续的相位分布,重建被测物体的三维表面形貌.实验成功重建了以BGA芯片为代表的微小物体表面三维形貌.实验结果表明,系统测量精度达到11μm,系统的有效深度测量范围为700μm.
作者：史耀群 邓林嘉 王朝旭 伏燕军 钟可君 管炳良
作者单位：南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室,江西南昌330063九江如洋精密科技有限公司,江西九江332000
母体文献：第二届军用光电技术发展论坛论文集
会议名称：第二届军用光电技术发展论坛
会议时间：2019年8月1日
会议地点：长春
主办单位：西安应用光学研究所
语种：chi
分类号：
关键词：微小物体 三维形貌测量系统 结构光投影 立体显微镜
在线出版日期：2022年9月21日
基金项目：
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