文档名：阴极材料表面加工工艺研究
采用不同的切削参数和表面处理方法对含铝酸盐阴极进行球面加工,通过扫描电镜及金相显微镜观察对比加工后的基体表面形貌.结果表明:采用主轴转速800r/rain,切削深度0.05mm,进给量小于0.01mm的切削参数,钨绒或银砂纸砂光阴极后再进行等离子刻蚀的组合表面处理工艺,可以制备出满足使用要求的阴极.
作者：王玉春 吴亚琴 李晓云 杨建 胡文景 马静 赵请 武元元 张毅
作者单位：南京三乐集团有限公司,江苏南京211800南京工业大学,江苏南京21009
母体文献：第十七届电子陶瓷制造、陶瓷—金属封接技术交流会暨真空电子与专用金属材料分会年会论文集
会议名称：第十七届电子陶瓷制造、陶瓷—金属封接技术交流会暨真空电子与专用金属材料分会年会
会议时间：2017年9月1日
会议地点：江西衢州
主办单位：中国真空电子材料行业协会
语种：chi
分类号：
关键词：电真空器件 阴极材料 表面加工 切削参数
在线出版日期：2020年6月28日
基金项目：
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