文档名：新兴工业材料加工用金刚石工具
本文简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述.
作者：刘一波徐良
作者单位：中国钢研科技集团有限公司,北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司,北京102200
母体文献：第9届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会论文集
会议名称：第9届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会
会议时间：2015年8月14日
会议地点：辽宁通辽
主办单位：中国材料研究学会
语种：chi
分类号：F42TG7
关键词：单晶硅 多晶硅 蓝宝石 金刚石工具 加工工艺
在线出版日期：2019年1月18日
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