文档名：氧化锌薄膜表面气体吸附的反应分子动力学模拟
气敏材料的气体吸附现象的计算机仿真研究工作大部分采用量子力学和密度泛函方法,但是这种方法难以满足较大体系下的表面气体吸附现象的仿真需求.近年来,反应分子动力学(ReaxffMD)迅速发展,已用于大规模分子体系的化学反应分析,但其在表面气体吸附方面的工作才刚起步.本文采用分子动力学模拟的方法和ReaxFF力场,在300K-700K下模拟了气态水和氧气以及氢气混合气体在氧化锌表面的吸附过程.并且在300K下,模拟了气态水和氧气以及氢气分别作为单一气体和混合气体下氧化锌在对气体的吸附效果.结果表明,氢气与氧化锌的反应需要氧气的参与,氧化锌薄膜在600K时反应最为剧烈.
作者：周君伟余隽李婷吴昊黄正兴唐祯安
作者单位：大连理工大学电子科学与技术学院,大连116024
母体文献：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
会议名称：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
会议时间：2016年10月14日
会议地点：成都
主办单位：中国仪器仪表学会,中国电子学会,中国航空学会,中国生物工程学会
语种：chi
分类号：TP3TN1
关键词：半导体材料 氧化锌薄膜 表面气体吸附 分子动力学
在线出版日期：2019年4月17日
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