文档名：新型MEMS静电场传感器原理、标定及应用
本论文提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型静电场传感器,敏感结构主要由屏蔽电极、感应电极、驱动电极等几部分组成.电极的特征尺寸为微米数量级,传感器敏感芯片的尺寸为5mm×5mm×0.5mm,具有体积小、功耗低、易集成、可批量化制备等优点,为静电测量应用提供了一种先进的测试仪器.本论文提出了基于实验室标定及现场标定相结合的校准方法,有效避免了被测物形貌、材料对测试准确性的影响,并研制出具有测距,温湿度测量,数据显示、报警及存储等功能的非接触式MEMS手持静电仪,总不确定度为2.98％,实现了被测物带电情况的高精度测量.
作者：闻小龙 杨鹏飞 彭春荣 刘宇涛 吴双 袁亚飞[5]
作者单位：北京科技大学数理学院100083北京信息科技大学理学院100192中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室100190北京中科飞龙传感技术有限责任公司100083北京东方计量测试研究所100094
母体文献：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会
会议时间：2018年11月7日
会议地点：北京
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：TM9TM5
关键词：静电场传感器 敏感结构 参数标定 微机电系统
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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