文档名：氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响
采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层.研究了在溅射功率60W、溅射时间30min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响.结果表明,最优Ar气流量为22cm3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400～1100nm波长下的光透过率为87.2％.
作者：杨盼 赵晓冲 杨丽军 顾友辰 林红 赖新春
作者单位：表面物理与化学重点实验室,四川江油621908;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084表面物理与化学重点实验室,四川江油621908清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084
母体文献：第二十届全国高技术陶瓷学术年会论文集
会议名称：第二十届全国高技术陶瓷学术年会
会议时间：2018年9月12日
会议地点：呼和浩特
主办单位：中国硅酸盐学会
语种：chi
分类号：
关键词：太阳能电池 掺铝氧化锌薄膜 氩气流量 磁控溅射 光电性能
在线出版日期：2022年2月28日
基金项目：
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