文档名：无阀微泵压电特性分析及性能测试
提出了一种用于微量试剂分析的压电驱动微泵模型.该微泵模型采用压电阵子驱动、硅基泵体以及聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)封装而成.对压电阵子振动模态进行有限元分析,得出1～4阶模态及驱动频率,使微泵容积效率为最大的应为1阶模态.通过对微泵压电-应力耦合场进行数值分析,得出微泵最佳驱动频率范围应小于1kHz.最后,采用微系统加工方法制作出微泵模型,并对其性能进行测试.结果表明:电压为100V(p-p)的正弦波驱动下,频率为60和200Hz时,微泵流量最大达到34.5μL/min,而当频率在60～600Hz时微泵压力最大达到657Pa,与数值分析结果相吻合.
作者：关炎芳 耿铁 韩莉莉 刘春波 凌行
作者单位：河南工业大学机电工程学院,郑州450007上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200240
母体文献：第八届全国技术过程故障诊断与安全性学术会议论文集
会议名称：第八届全国技术过程故障诊断与安全性学术会议
会议时间：2016年5月1日
会议地点：贵阳
主办单位：中国自动化学会
语种：chi
分类号：
关键词：无阀微泵 压电特性 应力场 驱动频率
在线出版日期：2017年3月15日
基金项目：
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