铜诱导腐蚀制备硅基微纳材料及其在锂离子电池中的应用

文档名：铜诱导腐蚀制备硅基微纳材料及其在锂离子电池中的应用
金属辅助化学腐蚀法(MACE)是一种制备硅基微纳材料的有效方法,且具有工艺简单、可规模化延伸等特点.目前,大部分采用的是Ag、Au、和Pt等贵金属,限制了其在大规模工业生产中的应用.廉价的铜离子在诱导腐蚀硅材料过程中主要存在以下两个问题:1.Cu离子容易形成致密连续的膜层覆盖在硅衬底上,导致硅衬底与腐蚀液隔离,从而使得腐蚀过程难以进行;2.在一些强氧化剂(如H2O2、Fe3+等)溶液中,Cu纳米离子由于具有较低的氧化还原电势(0.337V),Cu纳米粒子极易被氧化并立即消失,导致只能腐蚀成很浅的孔洞.本文以Cu金属作为催化剂,以两步化学腐蚀的方法成功地在硅片上制备了微纳米结构的多孔硅.实验通过改变腐蚀溶液中H2O2浓度、硅片掺杂浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间等条件制备了系列样品,系统研究了各实验参数对多孔硅形貌的影响.
作者：韩响 黄燕华 张子启 游润 陈松岩 李成 黄巍 赖虹凯
作者单位：厦门大学物理系半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心,福建厦门361005集美大学诚毅学院,福建厦门361021
母体文献：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文集
会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会  
会议时间：2017年5月25日
会议地点：厦门
主办单位：厦门大学,浙江大学
语种：chi
分类号：TB3TN3
关键词：锂离子电池  硅基微纳材料  铜元素  制备工艺  形貌特征
在线出版日期：2020年6月22日
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2024-12-11 17:53 上传 铜诱导腐蚀制备硅基微纳材料及其在锂离子电池中的应用.pdf

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