深振荡磁控溅射复合沉积CrNTiN超晶格薄膜的结构和性能

文档名：深振荡磁控溅射复合沉积CrNTiN超晶格薄膜的结构和性能
分别采用深振荡磁控溅射(deeposcillationmagnetronsputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulseddcmagnetronsputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3nm的CrN/TiN超晶格薄膜.利用XRD、SEM和TEM表征薄膜的结构.利用纳米压痕仪、划痕仪和空气电阻炉分别测试薄膜的力学性能、结合力和热稳定性.利用球-盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能.利用阳极极化实验测试薄膜在3.5％(质量分数)NaCl溶液中腐蚀性能.研究表明,与单一的PDCMS技术相比,DOMS+PDCMS复合技术显著改善了CrN/TiN超晶格薄膜结构,薄膜具有更优异的力学性能、持久的耐磨减摩性和抗腐蚀性能.
作者：欧伊翔 潘伟 雷明凯
作者单位：清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084;大连理工大学表面工程实验室,辽宁大连116024清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084大连理工大学表面工程实验室,辽宁大连116024
母体文献：第二十届全国高技术陶瓷学术年会论文集
会议名称：第二十届全国高技术陶瓷学术年会  
会议时间：2018年9月12日
会议地点：呼和浩特
主办单位：中国硅酸盐学会
语种：chi
分类号：
关键词：超晶格薄膜  氮化铬  氮化钛  深振荡磁控溅射  脉冲直流磁控溅射  耐磨减摩性  抗腐蚀性能
在线出版日期：2022年2月28日
基金项目：
相似文献
相关博文

2024-12-11 13:41 上传 深振荡磁控溅射复合沉积CrNTiN超晶格薄膜的结构和性能.pdf

文件大小:

2.68 MB

下载次数:

60

高速下载