[化工] GBT 14851-2009 电子工业用气体.磷化氢

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电子工业用气体.磷化氢
Gasforelectronicindustry.Phosphine

摘要:本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

标准编号：GB/T14851-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2010年1月1日
关键词：磷化氢,电子工程,气体,HYDROGENPHOSPHIDE,PHOSPHINE,ELECTRONICENGINEERING,GASES,GAS

GB/T 14851-2009 电子工业用气体.磷化氢.pdf

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磷化氢, 气体, 电子工业

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