文档名：静电放电失效特征及诊断技术研究
静电放电损伤失效分析是电子制造企业分析产品质量问题和提高产品质量可靠性的难点和关键技术之一.总结梳理生产制造过程中常见的静电源和释放通路,研究电子元器件静电放电损伤的敏感结构,研究静电放电损伤的失效机理及其典型形貌特征,探讨静电损伤(ESD)、过电损伤(EOS)和缺陷诱发失效的鉴别方法.最后将这些方法应用在具体的失效案例中,为企业开展静电放电失效分析工作提供一种有效的鉴别分析方法.
作者：何胜宗梁晓思陈选龙王有亮
作者单位：工业和信息化部电子第五研究所,广东广州510610
母体文献：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第七届静电防护与标准化国际研讨会
会议时间：2018年11月7日
会议地点：北京
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：
关键词：电子元器件 生产过程 静电放电 失效诊断
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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