文档名：近年來台灣地區物理鍍膜技術與新穎薄膜材料的發展
Thehighpowerimpulsemagnetronsputtering(HiPIMS)dischargeisarecentadditiontoplasmabasedsputteringtechnology.TheHiPIMSdischargeisnowanestablishedionizedphysicalvapordepositiontechnique,whichiseasilyxalableandhasbeensuccessfullyintroducedintovariousindustrialapplications-Recently,wefabricatedtheZr-based,Ti-basedandFe-basedthinfilmmetallicglassesusingmagnetronsputteringtechniqueandinvestigatedthemechanicalpropeniesenhancemembydifferentdapantsandconcentrationcontrolofbycomponent-ThetesttrialsofTFMGsasthebiomedicaltools(surgicalbladeVermatomeanddentalrotaryinstrumentsweresuccessfullyachievedandshowedpromisingapplicationpotential.
作者：李志偉
作者单位：明志科技大學材料工程系
母体文献：第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会论文集
会议名称：第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
会议时间：2016年10月22日
会议地点：成都
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TM9TB9
关键词：薄膜材料 物理镀膜 显微结构 机械性质
在线出版日期：2018年10月31日
基金项目：
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