文档名：基于双路多光束干涉的光程微变动实时监测技术
介绍了一种基于多光束干涉原理,采用双通道的微光程测量系统.该系统具有较高的测量灵敏度,可以实现诸如空气折射率变动引起光程微变的测量.采用简单方法对测量灵敏度实验进行验证,利用声波改变空气折射率进而改变光学光程,将系统的测试结果与迈克尔逊干涉方法的测试结果进行了比较,结果表明,本系统能够在较小干涉臂情况下实现只有当迈克尔逊干涉大干涉臂才能具备的测量灵敏度.由于光程变动的测量具有较多的应用,本测量实验系统具备微型化的结构特点,可以为相关领域的应用提供技术基础.
作者：黄维 高宏堂 张福民 魏冰莹
作者单位：天津大学,天津300072中国计量科学研究院,北京100029;北京航空航天大学,北京100191北京市机电产品标准质量监测中心,北京100027
母体文献：2018全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2018全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2018年10月24日
会议地点：杭州
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：光程微变动 实时监测 多光束干涉原理 测量灵敏度
在线出版日期：2022年2月28日
基金项目：
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