基于银氧化铟锡混合薄膜的近红外介电常数近零点和等离子体特性调谐的研究

文档名：基于银氧化铟锡混合薄膜的近红外介电常数近零点和等离子体特性调谐的研究
本文系统地描述了一系列银-氧化铟锡(Ag-ITO)共溅薄膜的制备和研究,通过调控薄膜中银的含量,获得了微观结构上的同质混合薄膜,此时少量掺杂的银的含量(＜3at.％)被证明具有最优值.同时,银的引入显著增强了ITO中In2O3多晶的择优取向,尤其反映在其(222)、(400)、(440)峰的强度提升.
作者：陈超楠王哲玮伍科叶辉
作者单位：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室310027
母体文献：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文集
会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会  
会议时间：2017年5月25日
会议地点：厦门
主办单位：厦门大学,浙江大学
语种：chi
分类号：TN8TH8
关键词：共溅薄膜  银元素  氧化铟锡  制备工艺  近红外介电常数  等离子体特性
在线出版日期：2020年6月22日
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