GBT 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准

表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
Surfacechemicalanalysis.X-rayphotoelectronspectrometers.Calibrationofenergyscales

摘要:本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用于有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求公差极限为±0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验，该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证，必须按仪器制造商的推荐程序进行。

标准编号：GB/T22571-2008
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2008年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2009年1月1日
关键词：化学分析和试验,X射线,X射线仪,光电器件,CHEMICALANALYSISANDTESTING,X-RAYS,XRAYS,X-RAY,X-RAYAPPARATUS,PHOTOELECTRICDEVICES,PHOTOVOLTAICS

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2024-9-22 12:29 上传 GBT 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准.pdf

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