文档名：化学机械抛光304不锈钢中抛光液成份研究
柔性显示器已经成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料将是柔性大尺寸显示器衬底的主要之一.为了提高对304不锈钢化学机械抛光的速率和质量,本文研究了不同氧化剂在不同PH值和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明;氧化剂三氧化二铁、双氧水、三氯化铁都是在pH=2时达到最佳的抛光效果,氧化剂高锰酸钾在pH=10时达到最佳的抛光效果,在最佳的pH值下进行抛光,在双氧水的含量为5ml时,达到最好的表面粗糙度为4nm,在三氯化铁质量为2.0g时的抛光液,达到最高的材料去除率为209nm/min.
作者：刘振辉 陈绍坤 彭亚男 李洁静 苏建修
作者单位：河南科技学院,机电学院,新乡,453003驻马店技师学院,机械工程系,驻马店,463000
母体文献：第十九届中国磨粒技术学术会议论文集
会议名称：第十九届中国磨粒技术学术会议
会议时间：2017年8月1日
会议地点：哈尔滨
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TG7TN8
关键词：不锈钢 化学机械抛光 氧化剂 材料去除率 表面粗糙度
在线出版日期：2021年12月15日
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