文档名：光学干涉技术在精密测量领域的最新研发成果及应用
报告介绍了两款深圳市中图仪器股份有限公司近年自主研发生产并推广应用的光学精密测量仪器:激光干涉仪和光学3D表面轮廓仪,激光干涉仪广泛应用于数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等.
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作者单位：深圳市中图仪器股份有限公司
母体文献：2017全国第十三届精密工程学术研讨会暨精密机械分会理事会七届一次会议论文集
会议名称：2017全国第十三届精密工程学术研讨会暨精密机械分会理事会七届一次会议
会议时间：2017年11月24日
会议地点：上海
主办单位：中国仪器仪表学会
语种：chi
分类号：U66TQ0
关键词：光学精密测量仪器 激光干涉仪 光学三维表面轮廓仪 定位精度
在线出版日期：2020年6月23日
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