GBT 32997-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程

表面化学分析辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程
Surfacechemicalanalysis-Generalproceduresforquantitativecompositionaldepthprofilingbyglowdischargeopticalemissionspectrometry

摘要:本标准规定了辉光放电发射光谱法测定材料表层薄膜的厚度、质量(单位面积)和化学成分的方法。本标准仅限于辉光放电发射光谱法深度剖析定量化通用规程的描述，并不能直接应用于具有不同厚度和元素的待测个体材料的定量化。

标准编号：GB/T32997-2016
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2016年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2017年1月1日
关键词：

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