GBT 33236-2016 多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法

多晶硅痕量元素化学分析辉光放电质谱法
Polycrystallinesilicon-Determinationoftraceelements-Glowdischargemassspectrometrymethod

摘要:本标准规定了采用辉光放电质谱(GD-MS)法测量多晶硅中杂质元素的测试方法。本标准适用于多晶硅材料中除氢和惰性气体元素以外的其他杂质元素含量的测定，测量范围是本方法的检出限至0.1%(质量分数)，检出限根据所用仪器及测量条件确定。通过合适的标准样品校正，也可以测量质量分数大于0.1%的杂质元素含量。单晶硅材料中痕量杂质元素也可参照本标准测量。

标准编号：GB/T33236-2016
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2016年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2017年1月1日
关键词：

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