文档名：高铝盖板玻璃刻蚀后表面亮点的测试和研究
本文利用偏光显微镜、探针式表面轮廓仪、扫描电子显微镜等测试设备,对高铝盖板玻璃刻蚀后表面的"亮点"缺陷形貌、成份、凹凸方向进行测试判定,并由此推断其发生原因及发生工序;建议采用浸泡式方法刻蚀减薄高铝盖板玻璃的过程中会出现三类“亮点”缺陷:第一类为凸出玻璃表面的拖尾状，是刻蚀过程中产生的四氟化硅粉末沉积遮挡刻蚀形成的;可通过增加鼓泡流量或采取其它提升酸液冲刷力的措施减少或消除。第二类为凹进玻璃表面的点状，由玻璃表面沾锡被刻蚀液溶去形成的;可通过对玻璃板的锡面进行抛光、或调整锡槽工艺减少沾锡缺陷，减少或消除。第三类为凹进玻璃表面的长条状，是玻璃表面划伤，经刻蚀被放大造成的;或通过定期清理传输辊道，保持产线洁净度等措施加以减少或消除。
作者：胡正宜宫汝华展贵鑫李盛印
作者单位：四川旭虹光电科技有限公司,四川绵阳621000
母体文献：2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会论文集
会议名称：2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会
会议时间：2017年1月7日
会议地点：北京
主办单位：中国硅酸盐学会
语种：chi
分类号：R77TH7
关键词：高铝盖板玻璃 刻蚀工艺 浸泡法 亮点缺陷
在线出版日期：2017年12月4日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 919.44 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
