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[化工] GBT 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

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半导体制造用气体处理指南
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摘要:本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

标准编号：GB/T34971-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南.pdf

2024-9-22 11:50 上传

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半导体, 气体, 指南, 制造

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