超声辅助化学机械抛光流场的CFD仿真研究

文档名：超声辅助化学机械抛光流场的CFD仿真研究
利用FLUENT非稳态动网格湍流和离散相模型并结合mixture的空化模块,CFD仿真分析超声振动以及不同频率、膜厚对流场绝对压力、速度分布、气含率的影响规律.结果表明:超声振动空化作用使试件表面产生极强的周期性正压冲击作用,中间区域为主要空化区域,边缘产生流体和磨粒的“冲刷”作用,有助于提高材料去除率;选取合适的频率、振幅和膜厚有助于提升流场抛光工艺参数.
作者：翟文杰常敬忠
作者单位：哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨150001
母体文献：第十九届中国磨粒技术学术会议论文集
会议名称：第十九届中国磨粒技术学术会议  
会议时间：2017年8月1日
会议地点：哈尔滨
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：
关键词：化学机械抛光  超声振动  空化区域  材料去除率
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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