采用浮法在线APMOCVD法制备高雾度透明导电玻璃的研究

文档名：采用浮法在线APMOCVD法制备高雾度透明导电玻璃的研究
采用常压有机金属化合物化学气相沉积(AP-MOCVD)法,在浮法玻璃生产线上制备了绒面透明导电玻璃,通过控制反应物浓度及配比成功实现对表面形貌的调控,雾度值随表面形貌而变化.采用XRD研究了薄膜的结构和择优取向,采用FESEM、AFM对表面形貌进行了观察,采用紫外可见光分光光度计和四点探针法分析光学和电学性能.结果表明,雾度值与表面形貌密切相关,而表面形貌与膜厚、晶粒尺寸、晶粒的择优取向有关,通过改变工艺参数,可以实现对雾度和光电性能的调控.雾度值随晶粒尺寸和膜厚的增加而提高,但光学和电学性能有所下降.
作者：刘起英
作者单位：中国玻璃控股有限公司北京100029
母体文献：2015年中国玻璃行业年会暨技术研讨会论文集
会议名称：2015年中国玻璃行业年会暨技术研讨会  
会议时间：2015年4月12日
会议地点：杭州
主办单位：中国建筑玻璃与工业玻璃协会
语种：chi
分类号：TB4TQ1
关键词：导电玻璃  浮法  有机金属化合物  化学气相沉积  表面形貌  光电性能
在线出版日期：2018年7月24日
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