GBT 43661-2024 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜ESPM,如SSRM和SCM空间分辨的定义和校准

表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准
Surfacechemicalanalysis—Scanningprobemicroscopy—Standardsonthedefinitionandcalibrationofspatialresolutionofelectricalscanningprobemicroscopes(ESPMs)suchasSSRMandSCMfor2D-dopantimagingandotherpurposes

摘要:本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanningcapacitancemicroscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanningspreadingresistancemicroscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

标准编号：GB/T43661-2024
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2024年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：ISO13083:2015

GB/T 43661-2024 表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准.pdf

2024-9-22 11:26 上传 GBT 43661-2024 表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜ESPM,如SSRM和SCM空间分辨的定义和校准.pdf

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