氮氧化硅聚合物混合集成低功耗宽动态范围的可变光衰减器

文档名：氮氧化硅聚合物混合集成低功耗宽动态范围的可变光衰减器
利用具有相反热光特性的氮氧化硅与聚合物材料,采用混合集成波导结构设计了一种低功耗S型可变光衰减器.该衰减器以聚合物为芯层材料,氮氧化硅为包层材料,在弯曲波导上方制作加热电极从而通过热光效应来实现可调谐的衰减功能.由于在S型波导两侧制作了空气槽以增加热利用效率,因此可实现低的功耗.初步制作的样品在功耗为16.2mW时,器件能达到的最大衰减量为46dB,所对应的插入损耗为5.4dB.
作者：王玲芳宋倩倩吴杰云陈开鑫
作者单位：电子科技大学通信与信息工程学院,四川成都611731
母体文献：第十一届全国塑料光纤·聚合物光子学学术会议论文集
会议名称：第十一届全国塑料光纤·聚合物光子学学术会议  
会议时间：2015年11月1日
会议地点：重庆
主办单位：中国光学学会
语种：chi
分类号：TN3TN2
关键词：可变光衰减器  结构设计  氮氧化硅  聚合物  热光效应
在线出版日期：2019年1月18日
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