文档名：电子显微镜高压直流电源技术参数
随着高压直流电源技术的逐渐成熟,应用于工业、农业、航天、医疗等的领域越来越普及,对高压直流电源的技术参数的要求就越来越高,纹波大小和稳定度是影响高压直流电源质量的两个关键因素.本文设计了一台90KV/1mA的高压直流电源应用于电子显微镜以及曝光机等,现对其技术参数纹波大小和稳定度进行测量,介绍了纹波的测量方法以及影响稳定度的因素.
作者：樊生文戴伟王泽庭
作者单位：北京市变频技术工程技术研究中心,北京市电力节能关键技术协同创新中心,北京电动车辆协同创新中心,北京100144
母体文献：北京电力电子学会2017电力电子论坛论文集
会议名称：北京电力电子学会2017电力电子论坛
会议时间：2017年9月1日
会议地点：北京
主办单位：北京电力电子学会
语种：chi
分类号：TN8TP2
关键词：电子显微镜 高压直流电源 纹波参数
在线出版日期：2020年11月30日
基金项目：
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