文档名：非接触步距规校准装置的研制
利用激光干涉仪、光电瞄准系统、二级复合定位系统相结合,研制了非接触步距规校准装置,实现了高精度非接触步距规.本文介绍了该仪器的构成、原理、特点,并进行了装置的不确定度分析,经分析1m步距规的测量不确定度可以达到0.5μm(k=2).
作者：孙玉玖钱丰唐英娜
作者单位：航空工业北京长城计量测试技术研究所,北京100095
母体文献：2017计量测试技术学术交流会论文集
会议名称：2017计量测试技术学术交流会
会议时间：2017年10月24日
会议地点：海口
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：步距规 校准装置 工作原理 结构优化 不确定度
在线出版日期：2021年3月22日
基金项目：
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