不同晶面的蓝宝石磨削表面形貌研究.pdf
蓝宝石单晶具有优良的物理性能、光学性能、电学性能以及机械性能,被广泛应用于窗口、照明、半导体衬底等领域.蓝宝石具有各向异性特征,不同晶面呈现不同物理特性.晶面特性对于蓝宝石单晶加工表面有较大影响,不同晶面加工表面形貌及材料去除特征相关研究仍不完善.为分析不同晶面蓝宝石磨削表面形貌创成特点,选取A、C、R、M四种晶面蓝宝石,对其进行精密磨削试验,通过对磨削表面形貌及材料断裂特征进行分析,研究不同晶面的蓝宝石磨削表面形貌特征.
作者：王银惠 梁志强 赵文祥 苏瑛 黄迪青 周天丰 王西彬
作者单位：北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室北京100081西安应用光学研究所西安710100
母体文献：第十九届中国磨粒技术学术会议论文集
会议名称：第十九届中国磨粒技术学术会议
会议时间：2017年8月1日
会议地点：哈尔滨
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：
关键词：蓝宝石 磨削加工 表面形貌 晶面特性
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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