MAiAEVOR高效集成的PERC电池背钝化工艺平台

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本文讲述了可用于常规或高效电池片正/反面镀膜，MAiAEVO与ALD方案比较，优化后的挂钩设计，钩点小无明显绕镀现象，总结了将PERC电池所需正面与背面3层膜层工艺集成到一台设备完成，降低设备投入与厂房面积需求等方面的结论。
作者：CherryLiu ChenMin T.Grosse H.P.Sperlich G.K(o)hler M.Meyer
作者单位：MeyerBurgerTradingShanghaiCo.LTDMeyerBurger(Germany)AG
母体文献：第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会论文集
会议名称：第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会  
会议时间：2017年11月16日
会议地点：徐州
主办单位：中国可再生能源学会,上海市太阳能学会
语种：chi
分类号：V22TQ4
关键词：太阳能电池  钝化工艺  挂钩设计  绕镀现象
在线出版日期：2018年10月31日
基金项目：
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