ErY共掺杂的硅基Al2O3纳米层状结构电致发光器件

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稀土Er3+离子掺杂的硅基Al2O3氧化物具有良好的热稳定性并且在红外1530光纤通讯波段具有优异的光增益性质,因此在硅基光电子器件领域具有重要的应用价值.但是由于Er3+离子在Al2O3中掺杂固溶度较低(约1018/cm3限制了器件发光效率和强度的进一步提升).为了提高Er3+离子的浓度掺杂,本文采用原子层沉积技术制备Al2O3(Y2O3-Er2O3-Y2O3)纳米层状复合结构,制备了高效率的硅基MOS结构电致发光器件,并研究了其电致发光性质.
作者：裴海燕熊细欢孙甲明
作者单位：硅光子学与储能器件实验室,南开大学材料科学学院天津市津南区海河教育园区同砚路38号,天津300350
母体文献：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文集
会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会  
会议时间：2017年5月25日
会议地点：厦门
主办单位：厦门大学,浙江大学
语种：chi
分类号：
关键词：硅基光电子器件  纳米层状结构  硅基三氧化二铝  铒掺杂  原子层沉积  电致发光性质
在线出版日期：2020年6月22日
基金项目：
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2024-12-9 11:18 上传 ErY共掺杂的硅基Al2O3纳米层状结构电致发光器件.pdf

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