ALON高陡度保形光学元件的超精密磨削加工.pdf
为了实现新型ALON高陡度保形光学元件的超精密磨削加工,首先对ALON进行了超精密磨削加工工艺研究,工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著,采用D3粒度的金刚石砂轮可获得Ra值5nm的表面粗糙度,并基于以上结论确定了ALON高陡度保形光学元件加工工艺步骤.最后实现了ALON高陡度保形光学元件的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度保形光学元件的面形精度PV值为2μm,表面粗糙度Ra值可达8.6nm.
作者：张春雨郭兵赵清亮
作者单位：哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所哈尔滨150001
母体文献：第十九届中国磨粒技术学术会议论文集
会议名称：第十九届中国磨粒技术学术会议
会议时间：2017年8月1日
会议地点：哈尔滨
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TG5TN3
关键词：高陡度保形光学元件 超精密磨削加工 面形精度 表面粗糙度
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 464.46 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
