不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

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对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,并且得到了不同微结构尺寸之间其灵敏度或带宽的比例关系，可为选择不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器以满足其不同的实际应用需求提供了理论依据。
作者：简泽明 付昌 张国军
作者单位：上海船舶电子设备研究所,上海,201108;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051上海船舶电子设备研究所,上海,201108中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051
母体文献：2016年船舶通讯导航学术会议论文集
会议名称：2016年船舶通讯导航学术会议  
会议时间：2016年10月1日
会议地点：北京
主办单位：中国仪器仪表学会
语种：chi
分类号：S94S85
关键词：矢量水听器  微结构参数  力学性能  检测灵敏度
在线出版日期：2020年4月16日
基金项目：
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