凸面分区复用型光栅的研制.pdf
适用于深空探测的可见-短波红外成像光谱仪需要同时满足宽谱段覆盖、高光谱分辨率和轻小型化要求.本文采用凸面分区复用型光栅设计,实现了在可见-短波红外(400nm-2500nm)的宽波段高衍射效率,保证了光谱仪紧凑光路布局,实现了轻小型化.通过控制2个不同闪耀角,分别在5.6°-6.5°之间以及16.5°-17.5°之间,保证在可见-短波红外的宽波段内1级衍射效率大于28％,同时分析了实际光栅槽形对衍射效率的影响.实验上采用全息光刻-分区离子束刻蚀法制作了408线/mm的凸面分区复用型光栅.为了在凸面基片上实现具有2个不同闪耀角结构,采用分区刻蚀制作2个不同的同质光栅掩模,进而采用转动扫描刻蚀的方式,分别对2个不同的同质光栅掩模进行倾斜刻蚀,最终成功研制了闪耀角分别为6.3°、17.3°,反闪耀角分别为66°、56°的凸面分区复用型光栅.实验测试表明1级衍射效率在400nm-1450nm波段大于24％.
作者：刘全 郭培亮 吴建宏
作者单位：苏州大学光电科学与工程学院&苏州纳米科技协同创新中心,江苏苏州215006;江苏省先进光学制造技术重点实验室&教育部现代光学技术重点实验室,江苏苏州215006苏州大学光电科学与工程学院&苏州纳米科技协同创新中心,江苏苏州215006
母体文献：第五届高分辨率对地观测学术年会论文集
会议名称：第五届高分辨率对地观测学术年会
会议时间：2018年10月17日
会议地点：西安
主办单位：高分辨率对地观测学术联盟
语种：chi
分类号：
关键词：凸面光栅 分区复用 全息光刻 离子束刻蚀 衍射效率
在线出版日期：2019年8月12日
基金项目：
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